光波导器件及其制作方法

专利申请号：CN202110638360.4

公 开 号：CN115453779A

发 明 人：梁雪瑞 喻千尘 傅力 张博 胡毅 罗勇 胡强高 

代 理 人：北京派特恩知识产权代理有限公司张雪;张颖玲

代理机构：北京派特恩知识产权代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20221209

公 开 日：20210608

专利主分类号：G02F1/035

关 键 词：基板 第一表面 光波导层 衬底 光波导器件 光调制模块 第二表面 光波导 下包层 传导电信号 导电结构 堆叠设置 方向垂直 相对设置 电连接 基板电 上包层 叠层 制作 

摘      要：本公开实施例公开了一种光波导器件及其制作方法。所述光波导器件包括：基板，以及与所述基板电连接的光调制模块；所述光调制模块，包括：衬底，包括：相对设置的第一表面和第二表面；其中，所述第一表面相对靠近所述基板，所述第二表面相对远离所述基板；光波导叠层，位于所述衬底的第一表面与所述基板之间，包括：沿第一方向堆叠设置的下包层、光波导层和上包层；其中，所述第一方向垂直于所述衬底所在的平面；所述下包层位于所述衬底的第一表面与所述光波导层之间；导电结构，位于所述光波导与所述基板之间，与所述光波导层电连接，用于传导电信号至所述光波导层。