一种高速顶针结构

专利申请号：CN202210861811.5

公 开 号：CN115458470A

发 明 人：孙勇 徐志刚 邹靖 

代 理 人：深圳市卓科知识产权代理有限公司张磊

代理机构：深圳市卓科知识产权代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20221209

公 开 日：20220722

专利主分类号：H01L21/687

关 键 词：音圈电机 锁附 滑动座 读数头 附板 上锁 固定底板 精密滑台 直线导轨 拉簧座 拉簧 上下往复运动 顶针结构 下固定部 固定板 移动 底座 

摘      要：本发明公开了一种高速顶针结构，包括XY精密滑台、音圈电机固定底板、L型固定架、音圈电机、拉簧座和读数头；所述XY精密滑台与音圈电机固定底板锁附构成底座，音圈电机、拉簧座、L型固定架锁附于音圈电机固定板上构成固定部分，附音圈电机上方锁附有音圈电机上锁附板，且音圈电机上锁附板背部锁附直线导轨；所述音圈电机上锁附板右侧锁附读数头，左侧锁附拉簧，并与固定部分形成指定Z向上下移动的运动副；滑动座下锁附音圈电机，滑动座背部锁附直线导轨，滑动座右侧锁附读数头，滑动座左侧锁附拉簧，并与下固定部形成指定Z向上下移动的运动副。本发明具有快速且高精度上下往复运动的功能。