单晶叶片模壳间隙检查装置及检查方法

专利申请号：CN202110692711.X

公 开 号：CN115507736A

发 明 人：刘飞扬 郭万军 李新川 李鹏飞 孙朔 

代 理 人：北京集佳知识产权代理有限公司吴敏

代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20221223

公 开 日：20210622

专利主分类号：G01B7/14

关 键 词：单晶叶片 模壳 隔热屏 检测 间隙检查 单晶生长过程 高度调节机构 上下位置移动 温度场均匀性 距离传感器 尺寸干涉 防止损坏 间隙检测 预先检测 成品率 单晶 底座 报废 支撑 检查 

摘      要：一种单晶叶片模壳间隙检查装置及检查方法，其中，间隙检查装置适用于预先检测待检测单晶叶片模壳与模拟隔热屏之间的间隙，包括：模拟隔热屏，中间设计有通道允许待检测单晶叶片模壳通过；高度调节机构，适用于带动模拟隔热屏沿着待检测单晶叶片模壳的上下位置移动；距离传感器，适于检测模拟隔热屏与待检测单晶叶片模壳间隙大小；底座，适于对待检测单晶叶片模壳进行支撑和定位。通过单晶叶片模壳间隙检查装置，可有效改善单晶叶片在单晶生长过程中的温度场均匀性，提高单晶叶片的质量和成品率。同时，通过间隙检测方法，可将有尺寸干涉问题的模壳提前报废，避免在单晶生长过程中发生模壳与单晶设备中使用的隔热屏发生碰撞，防止损坏设备。