版权所有：内蒙古大学图书馆 技术提供：维普资讯• 智图
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区大学西街235号 邮编: 010021
基于光学检测的Mini LED晶圆外观缺陷检测方法
专利申请号：CN202211213916.6
公 开 号：CN115290663B
发 明 人：曹剑钢
专利类型：发明专利
申 请 日：20221230
公 开 日：20220930
专利主分类号：G01N21/88
关 键 词：晶粒区域 缺陷区域 检测 缺陷类型 缺陷检测技术 外观缺陷检测 晶粒 光学检测 灰度分布 矩形特征 数量优化 位置确认 纹理信息 直线检测 直线信息 自动检测 冗余 污点 晶圆 瑕疵 测试 保证
摘 要：本发明涉及缺陷检测技术领域，具体涉及一种基于光学检测的Mini LED晶圆外观缺陷检测方法，用于测试瑕疵、缺陷或污点的存在，其中该方法基于晶粒的矩形特征将晶圆进行晶粒区域和非晶粒区域的划分，基于纹理信息和灰度分布检测晶粒区域和非晶粒区域中的缺陷区域，根据缺陷区域中所检测到的直线数量优化霍夫直线检测的阈值，以检测到有效直线，减少冗余直线信息，进而根据有效直线的位置和晶圆圆心位置确认每个缺陷区域的缺陷类型，使得自动检测在快速简单的前提下，保证了缺陷类型的检测准确性。
