一种高精度光电角位移传感器用光学系统及角位移传感器

专利申请号：CN202211201546.4

公 开 号：CN115586637A

发 明 人：梁士通 盖芳钦 史永敏 孙秀清 曹振 孙慧丽 余凡 安娜 

代 理 人：中国航天科技专利中心茹阿昌

代理机构：中国航天科技专利中心

专利类型：发明专利

申 请 日：20230110

公 开 日：20220929

专利主分类号：G02B27/00

关 键 词：透镜 角位移传感器 等效平板 校正 光学系统 孔径光阑 玻璃 球差 光电角位移传感器 光学编码盘 透镜前表面 残余像差 测量需求 光学畸变 温度环境 依次设置 高可靠 光能量 入射 外壁 轴向 彗差 汇聚 

摘      要：本发明一种高精度光电角位移传感器用光学系统及角位移传感器，包括：等效平板玻璃、第一透镜、第二透镜和第三透镜；等效平板玻璃、第一透镜、第二透镜、第三透镜沿轴向依次设置；等效平板玻璃的前方朝向光学编码盘的外壁；第一透镜前表面上设置有孔径光阑，第一透镜用于将经过孔径光阑的光能量汇聚后入射至第二透镜上；第二透镜用于校正第一透镜和第三透镜产生的球差；第三透镜用于校正光学畸变，同时校正第一透镜和第二透镜的剩余球差和彗差等残余像差。本发明提供一种角位移传感器用光学系统，具有小型化高可靠的特点，可以满足工作于空间恶劣温度环境下的高精度角位移传感器的测量需求。