包含发射器和接收器的光电探测器模块

专利申请号：CN202210710533.3

公 开 号：CN115588674A

发 明 人：乔纳森·克拉金 

代 理 人：北京东方亿思知识产权代理有限责任公司邓素敏

代理机构：北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20230110

公 开 日：20220622

专利主分类号：H01L27/146

关 键 词：异质外延 集成平台 器件结构 衬底 垂直腔面发射激光器阵列 互补金属氧化物半导体 制造 发射器和接收器 光电探测器模块 光电探测器阵列 测距 电介质图案 机器人车辆 图像传感器 选择性区域 人工智能 板计算机 工业视觉 光电模块 技术实施 模块设备 器件制造 虚拟现实 移动设备 增强现实 智能手机 光检测 可用 沉积 感知 应用 汽车 

摘      要：公开了包含发射器和接收器的光电探测器模块。集成平台基于通过平面Si衬底上的直接异质外延或通过电介质图案化Si衬底上的选择性区域异质外延在Si上异质外延CS材料和器件结构。在沉积CS器件结构之后，可以使用Si互补金属氧化物半导体(CMOS)制造技术实施器件制造步骤，以实现大批量制造。集成平台可以使得能够制造光电模块设备，包括用于图像传感器的光电探测器阵列和垂直腔面发射激光器阵列。此类模块设备可用于各种应用，包括用于汽车和机器人车辆的光检测和测距(LIDAR)系统以及诸如智能手机和平板计算机之类的移动设备，以及诸如工业视觉、人工智能(AI)、增强现实(AR)和虚拟现实(VR)之类的其他感知应用。