一种三维位移台及其控制系统

专利申请号：CN202211274682.6

公 开 号：CN115639845A

发 明 人：李全同 刘珠明 余剑雄 马建国 王长安 周洁林 张衍俊 张誉腾 王其瑞 陈志涛 

代 理 人：北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)戴尧罡

代理机构：北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20230124

公 开 日：20221018

专利主分类号：G05D3/12

关 键 词：三维位移台 控制器 控制系统 位移台 台体 控制信号 电连接 运动量 申请 

摘      要：本申请提供了一种三维位移台及其控制系统，涉及位移台技术领域。该三维位移台包括台体、X轴电机、Y轴电机、Z轴电机、X轴传感器、Y轴传感器、Z轴传感器以及控制器，控制器分别与X轴电机、Y轴电机、Z轴电机、X轴传感器、Y轴传感器以及Z轴传感器电连接，X轴电机、Y轴电机以及Z轴电机均安装于台体上，X轴传感器安装于X轴电机上，Y轴传感器安装于Y轴电机上，Z轴传感器安装于Z轴电机上；其中，X轴电机、Y轴电机、Z轴电机用于依据控制器的控制信号进行运动；X轴传感器、Y轴传感器、Z轴传感器用于获取X轴电机、Y轴电机、Z轴电机的运动量。本申请提供的三维位移台及其控制系统具有可实现对位移台位置进行自动控制的优点。