一种基于光谱共焦的半球谐振子内外表面形貌测量方法

专利申请号：CN202211312224.7

公 开 号：CN115682983A

发 明 人：朱吴乐 吴佳君 孙安玉 居冰峰 蒋效雄 姜丽丽 

代 理 人：杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)朱月芬

代理机构：杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20230203

公 开 日：20221025

专利主分类号：G01B11/24

关 键 词：半球谐振子 光谱 内外表面 共焦测头 测量点 形貌 距离位置信息 姿态调整台 补偿模型 加工设备 平行平板 谱峰位置 倾斜平板 扫描测量 弯曲表面 位移运动 形貌测量 一次扫描 在线测量 直线扫描 垂面 点云 共焦 光轴 减小 转轴 相交 调试 近似 测量 采集 引入 记录 转化 

摘      要：本发明涉及一种基于光谱共焦的半球谐振子内外表面形貌测量方法。本发明包括：调节位移运动台和姿态调整台使光谱共焦测头光轴与半球谐振子转轴相交；划分扫描测量间隔并对测量点处进行曲面平行平板近似，记录平板与光谱共焦测头垂面间的理论夹角；光谱共焦测头和半球谐振子分别进行直线扫描运动及旋转运动，采集半球谐振子表面各测量点处的光谱谱峰位置数据；建立倾斜平板补偿模型计算各测量点处半球谐振子内外表面的距离位置信息，将测量结果转化为点云后生成内外表面形貌。本发明所提方法可有效减小弯曲表面所引入的测量误差，且经一次扫描运动就可获得半球谐振子内外表面全貌，简单调试后即可集成在加工设备上实现在线测量。