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一种高灵敏度柔性电容式应变传感器及其制备方法
专利申请号：CN202110526880.6
公 开 号：CN113237419B
代 理 人：南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)任志艳
代理机构：南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
专利类型：发明专利
申 请 日：20230203
公 开 日：20210514
专利主分类号：G01B7/16
关 键 词：拉胀结构 多孔介质层 应变传感器 柔性电容 柔性基底 极板 柔性多孔结构 形变量增加 导电性能 高灵敏度 五层结构 下电极板 灵敏度 上下电 电容 传感器 拉伸 上电 制备 嵌入
摘 要：本发明公开一种高灵敏度柔性电容式应变传感器及其制备方法，该传感器为五层结构，由上至下分别为第一拉胀结构层，上电极板，多孔介质层，下电极板，第二拉胀结构层；拉胀结构层由拉胀结构框架与柔性基底组成，拉胀结构框架嵌入于柔性基底中；多孔介质层为柔性多孔结构，厚度较拉胀结构层小，上下电极板导电性能优异，且厚度极小可忽略不计。本发明提出通过拉伸拉胀结构层促使电容结构面积形变量增加从而实现提高柔性电容式应变传感器的灵敏度。
