一种基于LIBS和TEOM联合的小型粉尘检测装置及方法

专利申请号：CN202211310528.X

公 开 号：CN115839941A

发 明 人：郑丽娜 周福宝 宣鹏 顾俊彦 陈超 

代 理 人：刘妮

代理机构：北京众合诚成知识产权代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20230324

公 开 日：20221025

专利主分类号：G01N21/71

关 键 词：振荡频率 光谱分析处理模块 气体流量传感器 处理模块 气流参数 气流干燥 粉尘 环境压力传感器 粉尘检测装置 温湿度传感器 仪器控制模块 光谱仪 变化测量 测量单元 光纤探头 光学透镜 进气管路 浓度检测 频率振荡 激光器 采样头 低成本 干燥管 微天平 沉积 采集 联合 

摘      要：本发明公开了一种基于LIBS和TEOM联合的小型粉尘检测装置及方法，包括气流干燥模块、LIBS光谱分析处理模块、TEOM振荡频率处理模块、气流参数识别模块和仪器控制模块；气流干燥模块包括采样头、进气管路和干燥管；LIBS光谱分析处理模块包括激光器、光学透镜、光纤探头、沉积凹槽和光谱仪；TEOM振荡频率处理模块包括频率振荡测量单元，利用微天平振荡频率的变化测量所采集的粉尘浓度；气流参数识别模块包括温湿度传感器、第一气体流量传感器、第二气体流量传感器、环境压力传感器。本发明的装置体积小巧，结构简单，满足低成本的工业场所粉尘成分和浓度检测需求。