一种芯片制样装置及方法

专利申请号：CN202310004190.3

公 开 号：CN115979758A

发 明 人：贾浩 李明 李昕欣 

代 理 人：余明伟

代理机构：上海光华专利事务所(普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20230418

公 开 日：20230103

专利主分类号：G01N1/28

关 键 词：芯片 表征样品 观察窗 压印薄膜 移动支撑结构 观察 高精度定位 悬浮薄膜 制样设备 制样装置 低成本 微结构 电学 便携 压合 制备 制样 对准 损伤 污染 

摘      要：本发明提供一种芯片制样装置及方法，方法包括：待表征样品设置于压印薄膜上；将待表征样品与表征芯片上的观察窗对准；移动支撑结构靠近表征芯片，至待表征样品压合至观察窗上；移动支撑结构远离表征芯片，使待表征样品与所述压印薄膜分离以留在表征芯片的观察窗上。本发明通过压印薄膜将待表征样品转移至表征芯片的观察窗，不会对表征芯片的悬浮薄膜及其观察窗造成损伤，且可实现样品在观察窗上的高精度定位，适用于各种具有复杂热、力、电学微结构的表征芯片；同时，制样设备便携、操作方便、低成本，制样过程无需溶液，不会污染表征芯片，影响表征观察；此外，可对同一表征芯片上多个观察窗逐一制备一种或多种样品，显著降低了表征成本。