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一种石英晶片腐蚀方法和系统
专利申请号：CN202211499571.5
公 开 号：CN116131790A
代 理 人：北京正理专利代理有限公司李远思
代理机构：北京正理专利代理有限公司
专利类型：发明专利
申 请 日：20230516
公 开 日：20221128
专利主分类号：H03H3/02
关 键 词：石英晶片 晶片 清洗 制作 成品晶片 腐蚀处理 预腐蚀 基频 预置 腐蚀 申请 保证
摘 要：本发明实施例公开一种石英晶片腐蚀方法和系统，其中，该方法的步骤包括：对预置的石英晶片进行清洗；对清洗后的石英晶片依次进行预腐蚀和高基频腐蚀处理，获得成品晶片。本申请所述方案制作方式简单，制作时间短，在保证晶片频率质量的前提下，能够满足高频晶片的制作需求。
