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晶体管装置及栅极结构

晶体管装置及栅极结构

专利申请号:CN202211329542.4

公 开 号:CN116031291A

发 明 人:花长煌 蔡绪孝 许荣豪 宋俊汉 吴佩颖 颜宗正 

代 理 人:北京三友知识产权代理有限公司叶明川

代理机构:北京三友知识产权代理有限公司

专利类型:发明专利

申 请 日:20230428

公 开 日:20221027

专利主分类号:H01L29/423

关 键 词:第一金属层 栅极结构 晶体管装置 耐火金属层 衬底 断开 

摘      要:本发明公开了一种晶体管装置及栅极结构,晶体管装置包含衬底和栅极结构。栅极结构设置于衬底上且包含第一金属层以及设置于第一金属层上的耐火金属层,其中第一金属层是断开的且耐火金属层是断开的。

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