一种FCCL材料介电指标一致性和稳定性验证方法

专利申请号：CN202310111491.6

公 开 号：CN116027115A

发 明 人：吴军 阎德劲 敖辽辉 王苏静 何来发 刘国汉 

代 理 人：成都九鼎天元知识产权代理有限公司贾林

代理机构：成都九鼎天元知识产权代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20230428

公 开 日：20230210

专利主分类号：G01R27/26

关 键 词：介电损耗 介电常数 测试单元 测试和计算 湿热试验 微电子技术领域 一致性和稳定性 材料介电常数 验证 材料介电 材料准备 湿度条件 指标数据 谐振环 馈线 测试 

摘      要：本发明涉及微电子技术领域，具体公开了一种FCCL材料介电指标一致性和稳定性验证方法，包括以下步骤：FCCL材料准备，并在FCCL材料制作多组相同的谐振环及馈线，形成多组测试单元；在室温、常规湿度条件下测试和计算各测试单元的介电常数、介电损耗指标；根据测试得到的介电常数、介电损耗指标数据分别计算出介电常数、介电损耗指标的标准偏差；测试单元进行湿热试验；测试和计算各测试单元的介电常数、介电损耗指标，分别计算出介电常数和介电损耗指标的标准偏差；对比各测试单元在湿热试验前后的介电常数和介电损耗指标的标准偏差变化；本发明能够对于FCCL材料介电常数及介电损耗指标一致性、稳定性的验证。