一种光学测量设备测量数据的修正方法

专利申请号：CN202211644217.7

公 开 号：CN116105854A

发 明 人：石雅婷 刘亚鼎 张云 郭春付 李伟奇 张传维 薛小汝 何勇 

代 理 人：范三霞

代理机构：武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20230512

公 开 日：20221220

专利主分类号：G01J1/00

关 键 词：修正 比值曲线 测量光 样件 目标波段 光学测量设备 复折射率 光学器件 膜厚 帧数 测量数据 光强数据 数据提取 光强 加权 测量 引入 

摘      要：本发明提供一种光学测量设备测量数据的修正方法，包括：获取光学测量设备中的光学器件更换前后，测量的多个样件在目标波段的测量光强数据；基于多个样件在目标波段的测量光强数据，计算出每个样件在每一帧数下目标波段的光强比值曲线、加权比值曲线以及修正比值曲线；基于修正比值曲线，对光学器件更换后的测量光强数据进行修正，得到修正后的测量光强数据。本发明通过器件更换前后的多个样件的测量光强数据，得到各个帧数下的修正比值曲线，通过修正比值曲线将器件更换后的光强数据进行修正，使修正后的数据提取的膜厚以及复折射率等与更换器件前的膜厚以及复折射率等结果一致，减少因器件更换引入未知的难以表征的误差。