基于单面内微触觉结构的传感器的制备方法

专利申请号：CN202310202029.7

公 开 号：CN116164865A

发 明 人：闫岩 林伟滨 孙启军 邱瑞雪 张猛 

代 理 人：迟珊珊

代理机构：深圳市精英专利事务所

专利类型：发明专利

申 请 日：20230526

公 开 日：20230227

专利主分类号：G01L1/18

关 键 词：传感结构 传感器 上表面 微触觉 传感 基底 墨水 制备 浇筑 复合 砂纸 准确度 弧形凹坑 三维信息 纹理 表面压 低成本 微结构 触觉 叠放 旋涂 压合 制膜 钢板 

摘      要：本发明公开了一种基于单面内微触觉结构的传感器的制备方法，包括将PDMS预聚体层旋涂于制膜钢板中设置有弧形凹坑的一侧表面上并将PET层压合于PDMS预聚体层上得到PDMS基底，将GPC墨水涂匀浇筑于ITO‑PET层的上表面形成GPC层，将PET层的一侧表面压合于GPC层上得到第一传感结构层；将GPC墨水涂匀浇筑于ITO‑PET层的上表面形成GPC层得到第二传感结构层，第二传感结构层的一侧表面上形成与砂纸对应的接触传感内微结构；将第一传感结构层、第二传感结构层以及PDMS基底依次自上而下叠放形成复合传感结构层，复合传感结构层用于接触传感。本方法能够低成本且高效的制备基于单面内微触觉结构的传感器，提高传感器内触觉传感结构识别纹理三维信息的准确度和稳定性。