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一种晶圆外观检测机
专利申请号：CN202310101307.X
公 开 号：CN116174336A
代 理 人：曾繁育
代理机构：广州三环专利商标代理有限公司
专利类型：发明专利
申 请 日：20230530
公 开 日：20230208
专利主分类号：B07C5/34
关 键 词：晶圆 移动模组 外观检测机 送料模组 外观检测 模组 膜模 检测 机台 定位模组 晶圆检测 配合设置 标记模 种检测 工位 种晶 应用 生产
摘 要：本发明公开了一种晶圆外观检测机，旨在提供一种检测效果好和检测效率高的晶圆外观检测机。本发明包括机台，机台上设置有送料模组、识别定位模组、外观检测模组、标记模组以及多组检测单元，送料模组呈X向设置，每组检测单元包括呈Y向设置的移动模组，外观检测模组位于移动模组的上方，移动模组上配合设置有晶圆扩膜模组，晶圆扩膜模组上具有晶圆检测工位。本发明应用于晶圆生产的技术领域。
