基座支撑结构和外延生长装置

专利申请号：CN202111587730.2

公 开 号：CN114232084B

发 明 人：俎世琦 金柱炫 

代 理 人：北京银龙知识产权代理有限公司刘倩兰

代理机构：北京银龙知识产权代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20230606

公 开 日：20211223

专利主分类号：C30B25/12

关 键 词：主支撑轴 支撑臂 基座支撑结构 外延生长装置 延伸 支撑基座 转动过程 偏移 下移 支撑 

摘      要：本发明涉及一种基座支撑结构，用于支撑外延生长装置中的基座，所述基座支撑结构包括主支撑轴，和由所述主支撑轴向外延伸的多个支撑臂，所述主支撑轴沿其延伸方向包括第一部分和第二部分，多个所述支撑臂设置于所述第一部分上，所述第一部分的重量小于所述第二部分的重量。本发明还涉及一种外延生长装置。将所述主支撑轴沿其延伸方向划分为第一部分和第二部分，第一部分上设置有多个支撑臂，在支撑基座时，所述第一部分靠近所述基座设置，本发明实施例中，所述第一部分的重量小于所述第二部分的重量，从而将主支撑轴的中心下移，从而改善在转动过程中容易出现偏移的问题。