一种体声波谐振器结构

专利申请号：CN202310229607.6

公 开 号：CN116232275A

发 明 人：周琮泉 母志强 俞文杰 

代 理 人：上海光华专利事务所(普通合伙)余明伟

代理机构：上海光华专利事务所(普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20230606

公 开 日：20230310

专利主分类号：H03H9/17

关 键 词：压电薄膜 层叠结构 第一电极 第二电极 极性相反 衬底 体声波滤波器 压电薄膜材料 声波谐振器 单晶材料 极性反转 交替层叠 滤波性能 品质因子 声波损耗 谐振频率 压电材料 声学镜 电极 多层 减薄 减小 种体 生长 配合 

摘      要：本发明提供一种体声波谐振器结构，结构包括衬底、第一电极、压电薄膜层叠结构和第二电极；衬底与第一电极之间设置有声学镜；压电薄膜层叠结构位于第一电极和第二电极之间；压电薄膜层叠结构由多个第一压电薄膜和第二压电薄膜交替层叠构成，第一压电薄膜与第二压电薄膜的极性相反。本发明通过设置多层极性相反的压电薄膜，在不需要减薄压电薄膜厚度的条件下提高了体声波滤波器的谐振频率；同时利用压电薄膜层叠结构实现极性反转，降低对压电材料厚度的依赖，不需要额外生长电极，减小声波损耗，提高品质因子；另外，配合单晶材料作为压电薄膜材料，进一步提升了压电薄膜的晶体质量，提升了器件的滤波性能。