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一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路
专利申请号：CN202211598460.X
公 开 号：CN116298391A
代 理 人：王海波
代理机构：辽宁鸿文知识产权代理有限公司
专利类型：发明专利
申 请 日：20230623
公 开 日：20221212
专利主分类号：G01P15/125
关 键 词：物理电容 补偿电容 零偏补偿 精细化 级联 电容式微加速度计 高频激励信号 集成电路设计 激励信号 加速度计 敏感单元 改进型 采样 零偏 失配 电路 量化 施加
摘 要：本发明涉及集成电路设计领域，尤其涉及一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路。本发明使用n bit DAC采样量化高频激励信号后得到更小幅值的激励信号施加到单位补偿电容上，可以等效形成1/2n倍的单位补偿电容，从而能够在相同工艺下更加精细化地补偿加速度计敏感单元的零偏；在更高的零偏补偿精度相同的情况下，采用该种方法相比于采用直接级联物理电容的方法的面积更小，且该方法不受物理电容的工艺大小和失配的限制，理论能达到的补偿精度远远大于直接级联物理电容。
