翻转机械臂装置及晶圆测试设备

专利申请号：CN202310441413.2

公 开 号：CN116276931A

发 明 人：程高飞 杨奎 

代 理 人：北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)林英然

代理机构：北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20230623

公 开 日：20230423

专利主分类号：B25J9/04

关 键 词：主臂 测试机 驱动机构 翻转机械臂 辅助臂 半导体测试 维护便捷性 测试效率 方向相对 机架转动 晶圆测试 位置可调 转动轴线 可调 拆卸 省力 垂直 承载 保证 

摘      要：本发明提供了一种翻转机械臂装置及晶圆测试设备，涉及半导体测试技术领域，本发明提供的翻转机械臂装置包括机架、驱动机构和机械主臂，驱动机构安装于机架上，驱动机构与机械主臂连接，以带动机械主臂相对于机架转动，机械主臂沿垂直于自身转动轴线的方向相对于驱动机构的位置可调，机械主臂上安装有用于承载测试机的辅助臂，测试机可调设置于所述辅助臂上。本发明提供的翻转机械臂装置可通过调节机械主臂的位置，来辅助实现测试机位置的调节，调节时无需将测试机拆卸下来，操作简单、省力，同时具有维护便捷性和对接重复性佳的优点，易于保证测试机的对接精度，提高测试效率。