一种飞秒激光加工不规则曲面的三维形貌分析方法及系统

专利申请号：CN202310249467.9

公 开 号：CN116441735A

发 明 人：姜澜 樊佳业 王猛猛 朱彤 张新闯 

代 理 人：北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)周蜜

代理机构：北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20230718

公 开 日：20230315

专利主分类号：B23K26/362

关 键 词：三维形貌 整形 飞秒激光加工 飞秒激光 样件 分析方法及系统 协同 入射激光光束 显微成像系统 精密平移台 同一条直线 光斑 代码优化 复杂曲面 光束控制 激光加工 加工区域 轮廓分析 模型重构 频域整形 五轴加工 五轴联动 物体表面 旋转中心 装夹工件 组分信息 不规则 成品率 转台 非硅 时域 加工 空域 分析 反馈 制造 

摘      要：本发明公开的一种飞秒激光加工不规则曲面的三维形貌分析方法及系统，属于非硅微纳制造技术领域。本发明包括飞秒激光协同五轴联动精密平移台系统、CCD成像系统、三维形貌显微成像系统、复杂曲面轮廓分析系统。五轴加工平台的转台旋转中心、特制装夹工件的中心、入射激光光束的中心处于同一条直线上。本发明通过分析待加工样品的组分信息；使用时域整形、空域整形、频域整形协同进行光束控制，将飞秒激光整形后的高质量光斑直接作用于物体表面，显著提高样件的定位精度、加工精度、成品率。本发明不仅能够对实际样件的加工区域进行完整的表面三维形貌分析，而且能够反馈至激光加工前的模型重构和代码优化中，进一步提高飞秒激光加工的精准程度。