一种激光剥蚀激光电离装置、方法及质谱仪

专利申请号：CN202310616711.0

公 开 号：CN116329769B

发 明 人：胡勇刚 陈国荣 

代 理 人：于睿虬

代理机构：广州京诺知识产权代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20230804

公 开 日：20230529

专利主分类号：B23K26/362

关 键 词：三维振镜 激光光路 剥蚀 电离 光路选择器 激光发射器 聚焦镜头 移动镜头 场镜 检测灵敏度 离子化效率 采样过程 高速切换 激光电离 激光光束 空间点位 采样量 中高速 焦点 振镜 激光 发射 

摘      要：本发明公开了一种激光剥蚀激光电离装置，包括激光发射器、光路选择器、第一三维振镜系统、第二三维振镜系统、第一场镜和第二场镜；所述光路选择器用于将激光发射器发射的激光光束在剥蚀激光光路和电离激光光路之间高速切换；所述第一三维振镜系统用于调节剥蚀激光光路焦点的位置；所述第一三维振镜系统包括第一移动镜头、第一聚焦镜头、第一X轴振镜和第一Y轴振镜；所述第二三维振镜系统用于调节电离激光光路焦点的位置；所述第二三维振镜系统包括第二移动镜头、第二聚焦镜头、第二Z轴振镜和第二Y轴振镜。本发明能够在一次采样过程中高速剥蚀、高速电离多个空间点位，大大提高LALI技术的采样量与离子化效率，从而提高检测灵敏度。