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一种硅基光吸收器件及其应用
专利申请号：CN202310559308.9
公 开 号：CN116594091A
代 理 人：上海泰博知识产权代理有限公司魏峯
代理机构：上海泰博知识产权代理有限公司
专利类型：发明专利
申 请 日：20230815
公 开 日：20230518
专利主分类号：G02B5/00
关 键 词：共振频率 金属光栅 表面等离激元 等离子激元 底层介质层 顶层介质层 导模共振 光栅阵列 介质光栅 器件结构 三明治型 市场应用 微纳结构 耦合 光吸收 强吸收 有效地 波导 硅基 近场 优化 应用
摘 要：本发明涉及一种硅基光吸收器件及其应用，包括底层介质层、金属光栅和顶层介质层组成的三明治型导模共振强吸收结构。本发明的器件结构具有如下优势：(1)微纳结构周围的近场极其接近表面的等离子激元的共振频率；(2)光栅阵列的优化使得介质光栅支持波导的有效耦合。在表面等离激元共振频率附近，这些金属光栅阵列可以有效地集中光线，具有良好的市场应用前景。
