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一种声学谐振器及其制备方法、滤波器
专利申请号：CN202310732219.X
公 开 号：CN116633304A
代 理 人：郑华洁
代理机构：广州三环专利商标代理有限公司
专利类型：发明专利
申 请 日：20230822
公 开 日：20230619
专利主分类号：H03H9/02
关 键 词：多边形空腔 衬底 声学谐振器 压电薄膜层 刻蚀 通孔 支撑 机械性能 半导体技术领域 滤波器 单晶硅 叉指电极 依次设置 电学 晶向 周面 制备 连通 申请
摘 要：本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种声学谐振器及其制备方法、滤波器。该声学谐振器包括由下至上依次设置的支撑衬底、压电薄膜层和叉指电极结构，支撑衬底内设有多边形空腔；支撑衬底为{111}单晶硅衬底；多边形空腔的周面包括硅晶向；压电薄膜层靠近多边形空腔，且压电薄膜层设有多个刻蚀通孔，多个刻蚀通孔与多边形空腔连通。本申请提供的该声学谐振器具有优异的电学和机械性能。
