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微电子机械传感器和用于制造微电子机械传感器的方法
专利申请号：CN201910374953.7
公 开 号：CN110451451B
代 理 人：北京市金杜律师事务所郑立柱;崔卿虎
代理机构：北京市金杜律师事务所
专利类型：发明专利
申 请 日：20230901
公 开 日：20190507
专利主分类号：B81B3/00
关 键 词：衬底 接触垫 微电子机械传感器 接合 耦合 可移动 移动 制造
摘 要：本文公开了微电子机械传感器和用于制造微电子机械传感器的方法。一种微电子机械传感器，包括：第一衬底(202)，包括相对于第一衬底(202)可移动的元件(210)；以及第二衬底(204)，包括第一接触垫(206；506)和第二接触垫(208；508)。第一衬底(202)被接合到第二衬底(204)，使得元件(210)的移动改变第一接触垫(206；506)与第二接触垫(208；508)之间的耦合。
