一种高性能集成电感器的制备方法

专利申请号：CN202310738949.0

公 开 号：CN116705495A

发 明 人：陈立均 代文亮 赵佳豪 伊海伦 

代 理 人：上海乐泓专利代理事务所(普通合伙)张雪

代理机构：上海乐泓专利代理事务所(普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20230905

公 开 日：20230620

专利主分类号：H01F41/04

关 键 词：铜绕线 绝缘层介质 上表面 衬底 电感 螺旋管结构 磁芯层 磁芯 制备 绝缘层 高性能集成 电磁信号 电镀工艺 集成磁芯 提升电路 稳定性能 转换效率 电镀 层绝缘 电感器 沉积 绕线 泄露 隔离 铺设 能源 

摘      要：本发明提供的一种高性能集成电感器的制备方法，所述制备方法包括：铺设第一衬底；在所述第一衬底的上表面沉积一层绝缘物质，用于防止电磁信号往所述第一衬底中泄露；在所述绝缘层上采用电镀工艺形成铜绕线，并作为电感的一部分绕线；在所述铜绕线上形成第二绝缘层介质，用于隔离铜绕线和磁芯；在所述第二绝缘层介质上形成磁芯层；在所述磁芯层的上表面形成第三绝缘层介质；在所述第三绝缘层介质的上表面通过电镀的方式形成所述铜绕线的另一部分，与底部所述铜绕线连接形成螺旋管结构，所述磁芯位于所述螺旋管结构的中间部分。本发明高性能的集成磁芯电感技术还能够提高能源的转换效率、提升电路的高频稳定性能。