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一种硅片承载器及其制造方法
专利申请号：CN201710735004.8
公 开 号：CN107689340B
代 理 人：南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)任立
代理机构：南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
专利类型：发明专利
申 请 日：20230905
公 开 日：20170824
专利主分类号：H01L21/673
关 键 词：插片槽 承载器 穿设孔 长条形 缓冲垫 收放轮 硅片承载器 对称设置 硅片加工 可拆卸的 上下贯通 两侧面 破损率 硅片 收卷 对称 穿过
摘 要：本发明公开了一种硅片承载器，涉及硅片加工生产领域，包括承载器本体，承载器本体包括若干对称设置的插片槽，插片槽上下贯通，插片槽底部设有可拆卸的长条形的缓冲垫，承载器本体位于同一侧插片槽的两侧面对称设有长条形的穿设孔，穿设孔设在插片槽的最低高度，承载器本体上靠近其中一个穿设孔设有收放轮，缓冲垫的一端收卷在收放轮上，另一端依次穿过穿设孔并固定。本发明大大降低了硅片的破损率，同时具有结构简单、使用和清理方便的优点。
