电子倍增器的测试系统和测试方法

专利申请号：CN202011558296.0

公 开 号：CN112763826B

发 明 人：王运佳 王一非 刘国栋 高连山 王亮 

代 理 人：中国航天科工集团公司专利中心张国虹

代理机构：中国航天科工集团公司专利中心

专利类型：发明专利

申 请 日：20231114

公 开 日：20201225

专利主分类号：G01R31/00

关 键 词：电子倍增器 测试工位 测试系统 电子测试 真空腔 离子 真空环境 真空腔室 可移动 室内 测试 靶台 工位 拖动 测试效率 工位设置 电子源 离子源 移动 申请 

摘      要：本申请涉及电子倍增器技术领域，公开一种电子倍增器的测试系统。该电子倍增器的测试系统包括真空腔室、电子测试工位、离子测试工位和可移动靶台，其中，真空腔室用于为测试提供真空环境；电子测试工位设置在所述真空腔室内；离子测试工位设置在所述真空腔室内；可移动靶台设置在所述真空腔室内，用于放置被测电子倍增器，可拖动所述被测电子倍增器在所述电子测试工位与所述离子测试工位之间移动。该电子倍增器的测试系统可在同一真空环境下提供电子源和离子源对被测电子倍增器进行测试，提高了测试效率。本公开实施例还提供了一种电子倍增器的测试方法。