石英振荡器及其制作方法

专利申请号：CN202310488177.X

公 开 号：CN117155331A

发 明 人：洪瑞华 林逸伦 

代 理 人：北京泰吉知识产权代理有限公司谢琼慧;秦小耕

代理机构：北京泰吉知识产权代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20231201

公 开 日：20230504

专利主分类号：H03H9/05

关 键 词：薄化 压电基板 凹部 底缘 工作区间 上表面 石英振荡器 边框区 底电极 共平面 下表面 延伸区 等高 电路完整性 侧边间隔 侧边延伸 剩余侧边 顶电极 侧边 顶缘 良率 制程 塌陷 衔接 延伸 

摘      要：一种石英振荡器，包括压电基板及顶、底电极线路。压电基板包括薄化区及位于压电基板多个侧边中的其中一者处并衔接薄化区的边框区。薄化区具上、下表面，且上、下表面各自定义出与侧边间隔开的上、下工作区间。边框区具有自其顶缘朝薄化区上表面塌陷的凹部，薄化区上表面与凹部底缘位于等高的共平面上。顶电极线路具有设置于上工作区间的工作区及自其工作区朝凹部底缘延伸的延伸区。底电极线路具有设置于下工作区间的工作区，及自其工作区朝压电基板侧边延伸以位于凹部底缘或压电基板的剩余侧边的其中一者处的延伸区。薄化区上表面与凹部底缘位于实质等高的共平面上，能在薄化石英振荡器的前提下解决电路完整性不足的问题，以维持制程应有的良率。