测量系统与衍射光的方法

专利申请号：CN202311318201.1

公 开 号：CN117387912A

发 明 人：傅晋欣 王诣斐 伊恩·马修·麦克马金 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 卢多维克·戈代 约瑟夫·C·奥尔森 摩根·埃文斯 

代 理 人：徐金国;赵静

代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20240112

公 开 日：20200406

专利主分类号：G01M11/02

关 键 词：测量系统 衍射光 光栅 光束角 检测器 测量光学元件 非均匀特性 测试光栅 第一基板 第一区域 光束投射 光栅取向 间距公式 定向角 固定的 光学臂 位移角 波长 台架 

摘      要：本公开内容的实施方式涉及测量系统和用于衍射光的方法。该测量系统包括台架、光学臂和一个或多个检测器臂。衍射光的方法包括提供一种衍射光的方法，该方法包括以固定的光束角θ0和最大定向角φmax将具有波长λlaser的光束投射到第一基板的第一区域；获得位移角Δθ；确定目标最大光束角θt‑max，其中θt‑max＝θ0+Δθ，并通过经修改的光栅间距公式Pt‑grating＝λlaser/(sinθt‑max+sinθ0)确定测试光栅间距Pt‑grating。该测量系统和方法允许测量光学元件的区域的非均匀特性，例如光栅间距和光栅取向。