高压过滤器

专利申请号：CN202110940509.4

公 开 号：CN113731172B

发 明 人：张伟业 王一 刘迟 

代 理 人：沈阳科苑专利商标代理有限公司白振宇

代理机构：沈阳科苑专利商标代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20240130

公 开 日：20210817

专利主分类号：B01D61/00

关 键 词：滤膜 背板 过滤器上壳 过滤器下壳 防水锤 过滤器出口 过滤器进口 药液过滤装置 高压过滤器 间断供液 密封连接 水锤现象 自由选择 过水孔 可更换 中高压 柱塞泵 体压 半导体 过滤 支撑 

摘      要：本发明涉及半导体生产领域中高压药液过滤装置，具体地说是一种高压过滤器，过滤器上壳体与过滤器下壳体密封连接，防水锤滤膜背板、滤膜及滤膜背板均容置于过滤器上壳体与过滤器下壳体围成的空间内，滤膜背板通过过滤器下壳体支撑，滤膜位于防水锤滤膜背板与滤膜背板之间，过滤器上壳体压紧在防水锤滤膜背板上，防水锤滤膜背板及滤膜背板上分别开设有多个过水孔；过滤器上壳体上安装有过滤器进口接头，过滤器下壳体上安装有过滤器出口接头，过滤器进口接头及过滤器出口接头分别与过滤器上壳体和过滤器下壳体围成的空间内部相连通。本发明可防止水锤现象或柱塞泵间断供液对滤膜造成的损坏，过滤精度可依照不同精度滤膜自由选择，滤膜可更换。