一种翼型光学结构的精密位移传感器

专利申请号：CN202311625089.6

公 开 号：CN117629078A

发 明 人：施玉书 张树 王芳 高启元 

代 理 人：赵兴华

代理机构：北京高沃律师事务所

专利类型：发明专利

申 请 日：20240301

公 开 日：20231130

专利主分类号：G01B11/02

关 键 词：折光装置 入射 偏振光 偏振分光镜 双凸透镜 反射光 探测器装置 侧面 光栅 衍射光束 精密位移传感器 精密位移测量 抗环境干扰 汇聚 光路结构 光学结构 位移测量 翼型 激光 

摘      要：本发明公开一种翼型光学结构的精密位移传感器，涉及精密位移测量领域，包括：第一折光装置和第二折光装置分别位于第一偏振分光镜的第一侧面、第二侧面、第三侧面和第四侧面；激光被第一偏振分光镜分为第一偏振光和第二偏振光；第一偏振光经过第一折光装置入射双凸透镜，经双凸透镜汇聚入射光栅，得到的+1级衍射光束经第一折光装置和第一偏振分光镜后得到第一反射光；第一反射光入射至探测器装置；第二偏振光经第二折光装置入射双凸透镜，经双凸透镜汇聚入射光栅，得到的‑1级衍射光束经第二折光装置和第一偏振分光镜后得到第二反射光；第二反射光入射至探测器装置；探测器装置实现位移测量。本发明提高了光路结构抗环境干扰的能力。