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一种流磁自组装巨量转移装置及转移方法

一种流磁自组装巨量转移装置及转移方法

专利申请号:CN202311566452.1

公 开 号:CN117334797B

发 明 人:张利辉 牛德树 张育恒 

代 理 人:北京领果世纪知识产权代理有限公司刘元仁

代理机构:北京领果世纪知识产权代理有限公司

专利类型:发明专利

申 请 日:20240301

公 开 日:20231122

专利主分类号:H01L33/00

关 键 词:腔室 微型发光二极管 驱动电路板 组装 磁体基板 磁体阵列 电磁运动 转移装置 组装基板 自组装 半导体发光芯片 焊点 异方性导电膜 导磁材料层 堆叠设置 基板安装 快速转移 转移效率 导磁性 发光层 基底层 永磁体 流场 磁场 

摘      要:本发明公开了一种流磁自组装巨量转移装置,包括若干具有导磁性的微型发光二极管、组装腔室、组装基板、磁体阵列,微型发光二极管包括依次堆叠设置的P型电极、导磁材料层、P型半导体层、发光层、N型半导体层、N型电极;组装腔室包括腔室基底层、混Bin执行层、基板安装层,组装基板包括驱动电路板和异方性导电膜,驱动电路板上设置有若干焊点,磁体阵列包括磁体基板、组装在磁体基板上的电磁运动单元和安装在电磁运动单元上的永磁体。本发明采用上述结构的一种流磁自组装巨量转移装置及方法,借助流场和磁场共同作用快速转移半导体发光芯片,有效提高转移效率及转移精度。

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