适用于直管蒸发装置的光路稳定结构

专利申请号：CN202011438937.9

公 开 号：CN112346255B

发 明 人：凌菲彤 孙桂侠 熊明 刘涛 

代 理 人：北京润捷智诚知识产权代理事务所(普通合伙)安利霞

代理机构：北京润捷智诚知识产权代理事务所(普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20240329

公 开 日：20201210

专利主分类号：G02B27/30

关 键 词：快速反射镜 光路 补偿机构 空气扰动 探测机构 蒸发装置 反射光 漂移量 直管 分光镜反射 激光器发射 位置探测器 调整系统 光路偏移 环境空气 激光光路 激光准直 稳定结构 激光器 扰动 分光镜 准直 

摘      要：本发明公开了一种适用于直管蒸发装置的光路稳定结构，包括空气扰动补偿机构和光路漂移量探测机构，所述空气扰动补偿机构包括Ⅰ号快速反射镜和设置于其反射光路上的Ⅱ号快速反射镜，Ⅰ号快速反射镜设置于激光器发射光路上；所述光路漂移量探测机构包括设置于Ⅱ号快速反射镜反射光路上的分光镜和设置于分光镜反射管路上的位置探测器；所述Ⅰ号快速反射镜和Ⅱ号快速反射镜之间设置准直调整系统。本发明用于稳定通过直管蒸发装置的激光光路，提高激光准直精度，减少激光器本身波动和环境空气扰动等引起的光路偏移。