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基板载置方法和基板载置机构

基板载置方法和基板载置机构

专利申请号:CN202110481063.3

公 开 号:CN113644021B

发 明 人:边见笃 

代 理 人:北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)刘新宇;张会华

代理机构:北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)

专利类型:发明专利

申 请 日:20240409

公 开 日:20210430

专利主分类号:H01L21/687

关 键 词:升降销 载置区域 基板 中央部 载置面 表面中央部 基板载置 支承基板 长边 短边 基板载置机构 收纳 板变形 抑制基 载置台 角部 

摘      要:本发明提供抑制基板变形的基板载置方法和基板载置机构。其具有:设于载置区域的角部的第1升降销、设于载置区域的短边中央部的第2升降销、设于载置区域的长边中央部的第3升降销、以及设于载置区域的表面中央部的第4升降销,该基板载置方法具有如下工序:至少在第4升降销比第3升降销高,第2升降销比第4升降销高的状态下,利用第1升降销~第4升降销支承基板;以及在支承基板的工序后,将第1升降销~第4升降销收纳于载置台而将基板载置于载置区域,在将基板载置于载置区域的工序中,至少,首先将基板的长边中央部载置于载置面,接着将基板的表面中央部载置于载置面,接着将基板的短边中央部载置于载置面。

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