一种基于容栅的非接触式位移传感器

专利申请号：CN201810149270.7

公 开 号：CN108362206B

发 明 人：伍活民 陈文锡 

代 理 人：北京快易权知识产权代理有限公司肖智斌

代理机构：北京快易权知识产权代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20240409

公 开 日：20180213

专利主分类号：G01B11/02

关 键 词：高精度位移传感器 容栅位移传感器 读数头 静栅 容栅 非接触式位移传感器 测量 强光 容栅位移测量 测量数据 电容变化 动栅单元 基础测量 精度位移 快速响应 位移数据 控制器 不敏感 定极板 动极板 输出数 位移量 磁感 输出 

摘      要：本发明公开了一种基于容栅的非接触式位移传感器，将传统容栅位移传感器的定极板作为静栅单元，将动极板作为动栅单元，与高精度位移传感器集成于读数头中，在结构上相当于读数头与静栅单元组成容栅位移传感器，控制器同时获取容栅位移测量数据和高精度位移测量数据，以容栅的数据作为基准加插高精度位移传感器的位移数据提高测量精度，因此本发明既可以做到高精度位移传感器的高速高精度性能，也可以做到容栅位移传感器的绝对值输出数和快速响应功能，实现切换绝对值和非绝对值输出，且本发明以电容变化、位移量或磁感为基础测量，对测量环境中的灰尘和强光不敏感，具有很高的可靠性。