一种高频声波谐振器及应用其的滤波器

专利申请号：CN202210742047.X

公 开 号：CN115021705B

发 明 人：欧欣 吴进波 张师斌 郑鹏程 张丽萍 

代 理 人：广州三环专利商标代理有限公司苗芬芬

代理机构：广州三环专利商标代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20240409

公 开 日：20220627

专利主分类号：H03H9/02

关 键 词：第一电极 高频声波 谐振器 衬底 叉指换能器 声波谐振器 目标模式 压电薄膜 汇流条 滤波器 微电子技术领域 高阶模式 间隔距离 间隔设置 依次层叠 纵向电场 底电极 异质 支撑 激发 申请 应用 保证 

摘      要：本发明涉及微电子技术领域，本发明公开了一种高频声波谐振器及应用其的滤波器。该高频声波谐振器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、底电极、压电薄膜和叉指换能器；该叉指换能器包括第一汇流条和多个间隔设置的第一电极；该多个第一电极的同一侧与该第一汇流条连接；该多个第一电极中相邻的第一电极的中心之间的间隔距离与目标模式的频率之积小于该支撑衬底的声速；该目标模式为该高频声波谐振器在纵向电场作用下激发的高阶模式；本申请提供的该声波谐振器建立在异质集成衬底上，具有结构简单且压电薄膜强度高，仍能够保证声波谐振器的品质的特点。