测定用探测器以及形状测定装置

专利申请号：CN202011167886.0

公 开 号：CN112729066B

发 明 人：久保圭司 井上隆史 土居正照 冈崎信 臼井幸也 舟桥隆宪 

代 理 人：中科专利商标代理有限责任公司柯瑞京

代理机构：中科专利商标代理有限责任公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20240412

公 开 日：20201027

专利主分类号：G01B5/20

关 键 词：可动部 第1位置 第2位置 测定物 上移动 探测器 连结 形状测定装置 位置测定部 三维形状 触针 扫描 

摘      要：本公开提供一种测定用探测器以及形状测定装置，测定用探测器通过扫描测定物的表面来对测定物表面的三维形状等进行测定，具备：第1可动部，具有触针；第2可动部，能够在Z方向上移动地与第1可动部连结；第3可动部，能够在Z方向上移动地与第2可动部连结；第1位置测定部，测定第1可动部在Z方向上的第1位置；第2位置测定部，测定第2可动部在Z方向上的第2位置；第3位置测定部，测定第3可动部在Z方向上的第3位置，第1相对位置基于第1位置和第2位置来计算，第2相对位置基于第1位置和第3位置来计算，第2可动部相对于第1可动部的Z方向上的第1相对位置和第3可动部相对于第1可动部的Z方向上的第2相对位置被维持为固定。