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内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区大学西街235号 邮编: 010021
专利申请号:CN202210698151.3
公 开 号:CN115128002B
代 理 人:上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)张宁展
代理机构:上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
专利类型:发明专利
申 请 日:20240412
公 开 日:20220620
专利主分类号:G01N21/01
关 键 词:非线性光学性质 光斑 测量 非均匀 共焦显微成像 样品表面形貌 材料非线性 非线性性质 非线性折射 精密平移台 小尺寸样品 测试 测量材料 实时监测 同步测量 同步成像 显微物镜 样品位置 不规则 激发光 微米级 信号光 成像 三维 聚焦 微观 宏观 吸收 应用
摘 要:本发明提供了一种测量材料非线性光学性质的系统及方法,其中,测量方法是将Z扫描技术和共焦显微成像集成在一起,采用显微物镜进行激发光聚焦、信号光收集、样品表面形貌成像以及光斑同步成像,实现光斑大小的实时监测;使用三维精密平移台控制样品位置,可以实现对微米级样品非线性光学性质的测量。本发明方法可以同步测量材料非线性吸收和非线性折射数据,同时适用于均匀和非均匀、宏观和微观样品的测量,解决了非均匀不规则小尺寸样品非线性性质测试难题,扩展了Z扫描技术的应用及测试范围。