基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统

专利申请号：CN201110210439.3

公 开 号：CN102410836A

发 明 人：张鸣 朱煜 刘召 胡金春 徐登峰 杨开明 尹文生 穆海华 

代 理 人：邸更岩

代理机构：11327 北京鸿元知识产权代理有限公司

专利类型：发明申请

申 请 日：20120411

公 开 日：20110726

专利主分类号：G01C21/00(20060101)

关 键 词：传感器 半导体激光器 信号处理系统 光纤分路器 光纤准直器 六自由度 滤光片 结构简单及成本 位置敏感传感器 物体定位系统 定位精度 定位系统 非接触式 激光光斑 激光照射 平台运动 背景光 光刻机 硅片 线缆 掩膜 光纤 发射 响应 

摘      要：一种基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统，针对光刻机硅片台、掩膜台的定位而发明。该系统主要包括半导体激光器、光纤准直器、光纤、光纤分路器、滤光片、三个PSD传感器及信号处理系统。半导体激光器发射的激光照射到光纤准直器上，后经光纤分路器分三路分别传输，经滤光片滤除背景光后由PSD传感器接收，激光光斑在三个PSD传感器上的位置经信号处理系统处理得到空间六自由度物体的位姿。该定位系统采用非接触式测量，避免了线缆对平台运动精度的影响，同时具有定位精度高、响应快、结构简单及成本低等特点。