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小型电容耦合等离子反应器/生成器及方法
专利申请号：CN200510074943.X
公 开 号：CN1700404B
发 明 人：K-C·R·赵
代 理 人：戈泊;程伟
代理机构：11245 北京纪凯知识产权代理有限公司
专利类型：授权发明
申 请 日：20100818
公 开 日：20010323
专利主分类号：H01J37/32(20060101)
关 键 词：阳极 阴极 电极结构 生成器 等离子反应器 气体等离子体 气体流动路径 等离子气体 电极表面积 导电翼片 工作参数 气流路径 容积之比 小型电容 小型气体 阴极电极 耦合电极 反应器 大范围 翼片 平行 介绍
摘 要：说明了一种用于气体等离子体反应器/生成器的小型电容耦合电极结构。该电极结构包括一对平行板阳极和阴极，其位置限定了气体流动路径或空间。在阳极和阴极之间插入了导电翼片组件，这些翼片组件实质上提高了电极表面积与容积之比，并将气流路径或空间进行再分，从而实际上提高了在大范围工作参数下的等离子气体处理效率，而没有实际增大阳极和阴极之间的距离。还介绍了静止和闭合操作。还说明了实现基本电极结构的多阳极/多阴极电极装置，以及应用该组合的小型气体等离子反应器/生成器。
