一种声表面波气体传感器气敏测试系统

专利申请号：CN201810359279.0

公 开 号：CN108459078A

发 明 人：李明吉 苏云鹏 李红姬 李翠平 钱莉荣 杨保和 

代 理 人：张耀

代理机构：天津耀达律师事务所

专利类型：发明申请

申 请 日：20180828

公 开 日：20180420

专利主分类号：G01N29/02(20060101)

关 键 词：真空排气装置 釜体 进气口 信号采集分析系统 气体质量流量 温度控制系统 压强检测装置 防爆装置 控制系统 测试台 排气口 测试 声表面波气体传感器 体内 气敏元件性能 网络分析仪 测试系统 环境气压 密闭环境 末端接入 一端连接 干扰项 加热腔 通风橱 传感器 筒状 监控 研究 

摘      要：一种声表面波气体传感器气敏测试系统，属于传感器及气敏元件性能测试交叉领域。包括釜体、信号采集分析系统，气体质量流量控制系统，温度控制系统，釜内压强检测装置，真空排气装置，及防爆装置；釜体放置于温度控制系统的筒状加热腔内，釜体上设有进气口与排气口，进气口与气体质量流量控制系统相连，排气口与釜内压强检测装置及真空排气装置连接，防爆装置一端连接到釜体内，另一端与真空排气装置末端接入通风橱；所述的信号采集分析系统由网络分析仪和测试台组成，测试台设置在釜体内。该系统可对气体浓度，测试温度，环境气压，干扰项等因素进行同时监控，为SAW气体传感器测试提供良好的密闭环境，且操作性良好，提高了研究的效率。