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一种声表面波气体传感器气敏测试系统

一种声表面波气体传感器气敏测试系统

专利申请号:CN201810359279.0

公 开 号:CN108459078A

发 明 人:李明吉 苏云鹏 李红姬 李翠平 钱莉荣 杨保和 

代 理 人:张耀

代理机构:天津耀达律师事务所

专利类型:发明申请

申 请 日:20180828

公 开 日:20180420

专利主分类号:G01N29/02(20060101)

关 键 词:真空排气装置 釜体 进气口 信号采集分析系统 气体质量流量 温度控制系统 压强检测装置 防爆装置 控制系统 测试台 排气口 测试 声表面波气体传感器 体内 气敏元件性能 网络分析仪 测试系统 环境气压 密闭环境 末端接入 一端连接 干扰项 加热腔 通风橱 传感器 筒状 监控 研究 

摘      要:一种声表面波气体传感器气敏测试系统,属于传感器及气敏元件性能测试交叉领域。包括釜体、信号采集分析系统,气体质量流量控制系统,温度控制系统,釜内压强检测装置,真空排气装置,及防爆装置;釜体放置于温度控制系统的筒状加热腔内,釜体上设有进气口与排气口,进气口与气体质量流量控制系统相连,排气口与釜内压强检测装置及真空排气装置连接,防爆装置一端连接到釜体内,另一端与真空排气装置末端接入通风橱;所述的信号采集分析系统由网络分析仪和测试台组成,测试台设置在釜体内。该系统可对气体浓度,测试温度,环境气压,干扰项等因素进行同时监控,为SAW气体传感器测试提供良好的密闭环境,且操作性良好,提高了研究的效率。

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