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一种测量磁性软磁薄膜复数磁导率的方法
专利申请号：CN201410012235.2
公 开 号：CN103744039A
代 理 人：张晋
代理机构：62102 兰州振华专利代理有限责任公司
专利类型：发明专利
申 请 日：20140423
公 开 日：20140110
专利主分类号：G01R33/12(20060101)
关 键 词：夹具 短路 微带线 薄膜 复数磁导率 薄膜样品 端口阻抗 磁场 计算分析方法 标准样品 测量空腔 计算复数 计算公式 磁导率 定标 空腔
摘 要：一种软磁薄膜复数磁导率的计算分析方法，其过程为：1）测量空腔短路微带线夹具的S11参数、外加了强磁场时的空腔短路微带线夹具的S11参数、放入软磁薄膜样品时的短路微带线夹具的S11参数、外加了强磁场并且放入软磁薄膜样品时的短路微带线夹具的S11参数；2）通过S11参数求得端口阻抗；3）将得到的端口阻抗的数据带入本发明提出的计算公式中便可以得到软磁薄膜的复数磁导率。在利用本发明提出的方法计算复数磁导率时，只需要知道软磁薄膜的厚度和长度，而不需要其他标准样品来定标。
