半导体设备工艺运行状态的管理及管理装置

专利申请号：CN201610564980.7

公 开 号：CN106125682A

发 明 人：周法福 

代 理 人：陶金龙;张磊

代理机构：上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

专利类型：发明申请

申 请 日：20161116

公 开 日：20160718

专利主分类号：G05B19/418(20060101)

关 键 词：工艺运行状态 临时管理 二维状态 转换函数 转换事件 转换表 队列 动态配置管理 半导体设备 文件合并 文件记录 异常处理 状态结果 状态转换 工艺流程 配置的 逐行 半导体 成功率 查询 创建 管理 

摘      要：本发明公开了一种半导体设备工艺运行状态的管理方法，包括：根据半导体工艺流程创建工艺运行状态队列、事件列表和转换函数；根据上述工艺运行状态队列、事件列表和转换函数生成二维状态转换表；对所述二维状态转换表逐行或逐列查询，依次生成多个状态源临时管理文件，每一所述状态源临时管理文件记录一个所述工艺运行状态，其配置的一个所述转换事件，以及所述工艺运行状态经该转换事件后的状态结果；以及将全部所述状态源临时管理文件合并生成动态配置管理文件。本发明能够解决特定工艺和异常处理等状态转换效率低下和逻辑复杂造成的成功率低的问题。