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一种声表面波气体传感器及其制造方法
专利申请号：CN201110122283.3
公 开 号：CN102778503A
发 明 人：李冬梅 侯成诚 闫学峰 周文 汪幸 刘明 谢常青 叶甜春
代 理 人：逯长明;王宝筠
代理机构：11227 北京集佳知识产权代理有限公司
专利类型：发明申请
申 请 日：20121114
公 开 日：20110512
专利主分类号：G01N29/02(20060101)
关 键 词：换能器 阵列式 压电薄膜 电路 外围 声表面波气体传感器 基底 底部 表面波器件 保护膜 覆盖有 镀有 连接
摘 要：本发明公开了一种声表面波气体传感器及其制造方法，所述声表面波气体传感器包括：基底、同时设置在所述基底上的阵列式插指换能器和外围电路；其中，所述基底部分镀有压电薄膜；所述阵列式插指换能器设置于所述压电薄膜之上；所述阵列式插指换能器中除两端的插指换能器之外均覆盖有保护膜；所述阵列式插指换能器中两端的插指换能器分别连接所述外围电路构成回路；所述外围电路设置于未镀有所述压电薄膜的基底部分。通过本发明实施例，可以实现将表面波器件及其外围电路同时设置于同一基片上。
