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一种提高OPC修正精度的方法
专利申请号：CN201610367932.9
公 开 号：CN105807555A
代 理 人：吴世华;陈慧弘
代理机构：上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
专利类型：发明申请
申 请 日：20160727
公 开 日：20160530
专利主分类号：G03F1/36(20120101)
关 键 词：预处理 局部图形 图形片段 分段 切割 邻近 优化
摘 要：本发明公开了一种提高OPC修正精度的方法，针对因受到邻近其他图形影响而无法得到最佳OPC结果的图形片段，在基于模型的OPC修正处理前，通过对局部图形边进行预处理，以改变后续基于模型的OPC处理中图形边的切割或分段结果，从而提高了OPC修正的精度，可得到更为优化的OPC结果。
