一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置

专利申请号：CN201711165433.2

公 开 号：CN107805791A

发 明 人：万琪伟 高锦龙 朱家宽 陆建嘉 张卫卫 张情情 钟华良 刘杰鹏 贺晨涛 

代 理 人：翁霁明

代理机构：33101 杭州九洲专利事务所有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20180316

公 开 日：20171121

专利主分类号：C23C14/35(20060101)

关 键 词：冷却板 背板 冷却水槽 密封圈 背面 冷却水流道 外接水管 衬底 密封 磁控溅射镀膜 衬底接触 冷却效果 螺纹沉孔 螺纹通孔 密封圈槽 实时冷却 螺钉 卷对卷 螺纹管 内侧板 嵌入的 螺纹 密闭 水孔 旋接 紧贴 连通 配置 

摘      要：一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，主要有一块与柔性衬底接触的冷却板，所述的冷却板与柔性衬底直接接触并且紧贴在一起；所述的冷却板的背面开设有冷却水槽，并在背面用密封圈配置有一块将冷却水槽密封其内的背板，在冷却板与背板之间形成有由冷却水槽构成的密闭冷却水流道，一外接水管从背板接入与所述的冷却水流道连通；所述的外接水管通过螺纹管旋接在背板上设置的螺纹水孔中；所述的背板和冷却板之间开设有用于密封圈嵌入的并实现密封的密封圈槽；所述背板上设置有多个螺纹通孔，在冷却板的内侧板面上对应设置有螺纹沉孔，并通过螺钉将背板从下面固定在冷却板的背面上；它具有结构合理，使用方便，冷却效果好等特点。