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显微摄影即时定位测试结构
专利申请号：CN200420088008.X
公 开 号：CN2784903Y
发 明 人：卢彦豪
代 理 人：唐爱华;王志敏
代理机构：11232 北京慧泉知识产权代理有限公司
专利类型：实用新型
申 请 日：20060531
公 开 日：20040818
专利主分类号：G01M11/00(20060101)
关 键 词：固定座 摄影机 定位测试结构 分析模组 固定基座 焦距微调 特性分析 系统结构 固定件 检测机 光远 晶圆 模组 显微 一相 显微镜 感知 光源 微调 原件 影像 镜头 摄影
摘 要：一种显微摄影即时定位测试结构，它包含一光特性分析模组，其下方设一分析模组固定座，及相邻处设CCD(影像感知原件)摄影机，其系含有一显微镜头、镜头固定座、CCD焦距微调座、CCD角度固定件，而其下方则设有CCDx－y微调座，及一CCD固定基座，而另一相对应处，设一CCD摄影机光源，并含有一光远固定座第一件、第二件及第三件，藉此，组装成整组系统结构，并设于检测机本体上，可供测试LED、LCD及其他晶圆之使用。组装紧凑，操作使用方便，测试的精确度高。
