激光结晶系统及其晶化能量控制方法

专利申请号：CN201410837007.9

公 开 号：CN104465345A

发 明 人：王志刚 李子健 唐丽娟 李勇 

代 理 人：何青瓦

代理机构：深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)

专利类型：发明申请

申 请 日：20150325

公 开 日：20141229

专利主分类号：H01L21/268(20060101)

关 键 词：晶化 监控设备 主机 激光结晶系统 结晶设备 能量控制 指令 能量控制方法 工作效率 晶化过程 有效监控 在线监控 在线控制 监控 连接 良率 

摘      要：本发明实施例提供一种激光结晶系统及其晶化能量控制方法，所述激光结晶系统包括：Mura监控设备，用于监控晶化过程中的实时Mura状况；主机台，与所述Mura监控设备相连接，用于判断所述Mura监控设备监控得到的实时Mura状况的实时级别，并根据所述实时级别生成晶化能量控制指令；结晶设备，与所述主机台相连接，用于执行所述主机台生成的所述晶化能量控制指令以控制所输出的晶化能量。本发明实施例利用Mura监控设备实时地在线监控Mura的状况，根据实时Mura状况控制结晶设备输出的晶化能量。本发明能够实现对产品的Mura状况的有效监控，进而控制对应的晶化能量，相比于人工的方式，有效地提高了工作效率，且能够保证精确度和在线控制，保证产品的良率。